专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种地下天然气微泄漏点的遥感探测方法-CN202011227997.6有效
  • 蒋金豹;冉维维 - 中国矿业大学(北京)
  • 2020-11-06 - 2023-07-25 - G06V20/10
  • 一种地下天然气微泄漏点的遥感探测方法,包括:获取天然气微泄漏胁迫植被区和对照区植被的高光谱图像;从高光谱图像中提取光谱特征和颜色特征,得到光谱和颜色特征图像;对光谱和颜色特征图像进行分割,得到分割图像,包括初步的天然气微泄漏重度和轻度胁迫植被区;利用分割图像,构建类圆识别模型进行天然气微泄漏点位置和天然气微泄漏胁迫植被区的识别;以及构建基于空间关系特征的光谱‑空间特征融合的天然气微泄漏点识别模型,通过类圆环判别模型和线性加权融合模型,将光谱和颜色特征识别结果进行融合,得到最终的天然气微泄漏点检测结果,实现了植被覆盖区埋地长输天然气管道或地下储气库微泄漏点的无损、快速、大面积检测。
  • 一种地下天然气泄漏遥感探测方法
  • [发明专利]一种高光谱红外气体泄露检测系统和方法-CN202111568082.6有效
  • 陈伟明 - 广州市腾嘉自动化仪表有限公司
  • 2021-12-21 - 2022-03-22 - G01M3/02
  • 本发明涉及一种高光谱红外气体泄露检测系统和方法,涉及气体泄漏检测技术领域,本发明包括杆塔,设置在杆塔顶部用以拍摄被检测区域内是否存在气体泄漏的高光谱红外摄像头和高清摄像头,设置在杆塔底部的与所述高光谱红外摄像头通讯连接的用以对高光谱红外摄像头的拍摄图像进行分析处理的分析装置,以及设置在远离所述杆塔的用以手动和/或自动控制高光谱红外摄像头的检测区域的控制室,本发明通过将高光谱红外检测装置和普通高清摄像头集成为一个装置进行分析处理,以确定被检测区域存在气体泄漏位置、泄漏气体浓度和上是否扩散数据,提高了泄漏气体的检测准确性,从而降低了气体泄漏导致的安全风险。
  • 一种光谱红外气体泄露检测系统方法
  • [实用新型]一种在线式危化气体泄漏遥测设备-CN202221973296.1有效
  • 饶宇昂;韦军 - 合肥航谱时代科技有限公司
  • 2022-07-29 - 2022-09-02 - G01M3/04
  • 本实用新型公开了一种在线式危化气体泄漏遥测设备,包括观测角度可调的红外热成像单元和傅里叶变换红外光谱单元,以及联动控制单元;红外热成像单元,用于环视监测区域,捕捉视场内的红外辐射信号并进行定位;联动控制单元,用于根据气体泄漏点位置信息,控制傅里叶变换红外光谱单元转向至包含该气体泄漏点的视场;傅里叶变换红外光谱单元,用于环视监测区域,同时根据气体泄漏点位置信息调整其视场,进行泄漏气体的定性、定量分析。本实用新型结合红外热成像单元和傅里叶变换红外光谱单元,通过二者联动,实现气体泄漏的远距离定位、定性、定量监测;相比于单纯利用傅里叶变换红外光谱技术进行气体定性、定量监测的设备,成本更加节约。
  • 一种在线式危化气体泄漏遥测设备
  • [发明专利]使用智能算法的实时腔室监控方法-CN200780052134.6有效
  • 禹奉周;李东锡;文珠荣;金泰东;金学权;朴炳澯;金光泰;李淳钟 - 塞米西斯科株式会社
  • 2007-08-24 - 2010-03-03 - H01L21/205
  • 通过使用等离子体发射光谱(OES)信息的时间序列神经网络分析方法的泄漏检测方法包括:基于OES信号检测从等离子体光谱是否产生了由于泄露导致空气被引入到腔室而引起的特定光谱(例如,氮、氧、氩等);使用没有泄漏时的正常OES信号模式和发生泄漏时的特定光谱的反常OES信号模式通过时间序列神经网络分析方法,确定泄漏的发生。因此,与在关闭设备之后通过传统的泄漏检测器的泄漏检测不同,可以根据检测信号在不需要关闭设备的情况下在单个晶片的基底停置、沉积或蚀刻工艺之后立即确定泄漏的发生,,实时检查腔室的泄漏的发生。另外,当腔室发生泄漏时,可减少确定时间,因此可提高产率。另外,当在高温HDPCVD工艺期间在腔室中产生泄漏时,可容易地确定破裂并防止对腔室的破坏以及破坏引起的事故。
  • 使用智能算法实时监控方法
  • [发明专利]用于气体安全和排放物监测的扫描IR传感器-CN201880017410.3有效
  • A·M·韦克斯曼;J·M·比勒斯玛;A·瓦伊采斯 - 多传感器科学公司
  • 2018-03-16 - 2022-02-22 - G01M3/38
  • 用于对天然气及其它烃和温室气体的泄漏进行快速检测、定位、成像和定量的设备和方法。扫描传感器、扫描模式和数据处理算法使得能够监测位点以对烃泄漏的量和速率进行快速检测、定位、成像和定量。多光谱短波红外检测器通过差分吸收光谱法感测来自自然日光或人工照明源的非热红外辐射。使多光谱传感器进行扫描以包封所关注区域,检测泄漏的存在和位置,且对所述泄漏周围的区域进行栅格扫描以创建所述泄漏的图像。关于差分光谱光学深度的所得吸收图像经彩色映射以呈现跨越场景的气体吸收程度。利用包含已知线上压力和/或表面风速测量值的因素对此光学深度图像的分析实现泄漏速率的估计,即,气体的排放物质量通量的估计。
  • 用于气体安全排放监测扫描ir传感器
  • [发明专利]一种监测腔体泄漏的方法-CN202310658216.6在审
  • 王林;童光辉;赵嘉;杜廷卫;王阔 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2023-06-05 - 2023-10-13 - G01M3/38
  • 本申请公开了一种监测腔体泄漏的方法,涉及半导体制造领域。该方法包括:实时获取来源于刻蚀机台的设备腔体内的第一光谱信号和第二光谱信号,所述第一光谱信号用于监测第一元素,所述第一元素为存在于空气中的一种元素;所述第二光谱信号用于监测第二元素,所述第二元素为不存在于所述设备腔体中的一种元素;识别所述第一光谱信号的光强,作为第一光强;识别所述第二光谱信号的光强,作为参照光强;基于所述第一光强和参照光强的比值,判断所述设备腔体是否发生泄漏故障。通过对第一光谱信号和第二光谱信号的获取和识别,实现了能够实时监测设备腔体是否发生泄漏的效果。
  • 一种监测泄漏方法

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