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- [实用新型]压电马达及电子装置-CN202020911331.1有效
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王松
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欧菲微电子技术有限公司
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2020-05-25
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2020-11-17
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H02N2/00
- 所述压电马达包括:压电片;电路板,设于所述压电片的一侧,且与所述压电片电连接;及补强板,设于所述电路板背离所述压电片的一侧,所述补强板背离所述电路板的一侧开设有多个凹槽,所述多个凹槽用于抵消所述补强板的内部应力上述实施例的压电马达中补强板背离电路板的一侧开设有多个凹槽,所述多个凹槽形成的组合结构在开设凹槽后补强板背离电路板的一侧会产生残余应力,该残余应力可抵消补强板在组装前由于机械加工而产生的内部应力,从而使补强板在组装后能够保持平整
- 压电马达电子装置
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