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[发明专利]一种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置及修复方法-CN202111311595.9有效
发明人：黄帅;李明浩 -专利权人：湖南大学
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置及修复方法，包括机器视觉系统、仿形抛光头、连接结构、负压装置、微水雾通道和微细冷等离子体通道、负压孔以及待修复表面微缺陷的KDP晶体。本发明采用仿形抛光头，结合KDP表面微缺陷精准识别定位、微细冷等离子体超亲水改性，实现微缺陷仿形潮解抛光修复。本发明的有益效果如下：可使水介质在仿形抛光头和待修复区域之间均匀铺陈，潮解速率和区域可控，避免修复过程中新的缺陷引入，在微缺陷修复之后可获得理想的球形或高斯型曲面。
一种 kdp 表面缺陷潮解修复装置方法

[发明专利]改善硅针孔缺陷的方法-CN201811581482.9在审
发明人：谢玟茜 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善硅针孔缺陷的方法，在IMP光阻去除工艺过程中，采用H₂O等离子体，或者在高纯氢等离子体中添加微氧，利用微氧环境避免氢等离子体造成硅针孔缺陷。本发明能够避免氢等离子体造成的硅针孔缺陷。
针孔缺陷等离子体氢等离子体工艺过程光阻去除微氧环境高纯氢微氧

[发明专利]透明薄膜微孔缺陷微电流检测系统-CN201210028761.9有效
发明人：胡建明;谭波;张玉 -专利权人：重庆师范大学
申请日： 2012-02-09 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种透明薄膜微孔缺陷微电流检测系统，包括取样组件和微电流电路；取样组件包括硬质导电体I和硬质导电体II，被检测薄膜位于所述硬质导电体I与硬质导电体II之间被紧密挤压，所述硬质导电体I或/和硬质导电体II与被检测薄膜接触的表面设有柔性导电层；本发明利用柔性导电层的受压变形特性，当被检测薄膜出现微孔缺陷时，柔性导电层被挤入微孔，与另一导电体电接触，实现导电，则会在回路中产生微电流或电流变化，通过观察或者采集回路中的电流状况，能够轻易获得薄膜微孔缺陷，由此可见，本发明用于检测薄膜，能够较为简单准确的获取透明薄膜的微孔缺陷，以保证透明薄膜的成品合格率，同样适用于不透光薄膜微孔缺陷的检测。
透明薄膜微孔缺陷电流检测系统

[发明专利]玻璃基板微区域表面缺陷修复方法-CN202010371443.7在审
发明人：杜武兵;林伟;司继伟 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2020-05-06 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种玻璃基板微区域表面缺陷修复方法，包括以下步骤：将磁性粉体添加到常规研磨液中混匀形成混合研磨液；将所述混合研磨液加至玻璃基板表面有表面缺陷的微区域；将微区域内加有混合研磨液的所述玻璃基板置于变化磁场内，所述混合研磨液在变化磁场的驱使下在所述微区域内流动而对所述微区域表面进行研磨修复。本发明实施例利用变化磁场驱使含有磁性粉体的混合研磨液在微区域内流动，对玻璃基板的微区域进行研磨修复，可以有效修复掩膜版的玻璃基板的较小线缝等微区域内的表面过于粗糙、表面划伤、研磨不彻底、激光切割残痕等表面缺陷
玻璃基板微区域表面缺陷修复方法

[发明专利]一种体散射光学材料表面微缺陷检测装置及其检测方法-CN202111418710.2在审
发明人：王利栓;刘华松;姜玉刚;陈丹;何家欢;白金林;梁楠 -专利权人：天津津航技术物理研究所
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本申请提供一种体散射光学材料表面微缺陷检测装置及其检测方法，其中一种体散射光学材料表面微缺陷检测装置包括：光源发射器，用于发射照明光源；支架，用于安装所述光源发射器，所述支架倾斜角度可调；起偏器，设于相对靠近所述支架的较低侧通过调节起偏器使得照明光源处于特定的偏振模式，并通过支架可调节照明光源的入射角度，降低照明光源的透过率，故而降低样品的体散射光对材料表面微缺陷检测的影响，使得设在样品托架正上方的显微镜可清晰的观察到体散射光学材料样品表面的缺陷
一种散射光学材料表面缺陷检测装置及其方法

[发明专利]一种硅晶体内体微缺陷的控制方法-CN202111446129.1在审
发明人：袁长宏;娄中士;李鹏飞;田旭东;李振;闫鹏飞;沙志强;张净源;周宏邦;贾海洋;王淼;张强 -专利权人：内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：一种硅晶体内体微缺陷的控制方法，在硅晶体的等径生长过程中，对已拉出的等径段进行分段测温；获得所述硅晶体的各分段等径段的测温值，与相应的分段等径段的标准温度对比，选择适合所述硅晶体的各分段等径段的保温方式，以使所述硅晶体的各分段等径段的温度在相应的分段的标准温度范围内；再基于所述硅晶体的体微缺陷密度的指标，与标准体微缺陷密度对比，确定该段等径段在其标准温度范围内的保温时长，以获得符合指标的体微缺陷密度的所述硅晶体
一种晶体内体微缺陷控制方法

[实用新型]玻璃微珠分段球化枪-CN201420271147.X有效
发明人：王世杰;査伟强;章学文;邱尚皇 -专利权人：杭州星华反光材料有限公司
申请日： 2014-05-26 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： C03B19/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种玻璃微珠分段球化工艺中能够使玻璃微珠并珠少、析晶现象少、粒径分布更加均匀的玻璃微珠分段球化枪，枪体上部与下料仓通过下料控制阀连通，枪体尾端分别设有氧气进气口和燃气进气口，氧气进气口与位于枪体中部的氧气控制阀连通，燃气进气口与位于枪体中部的燃气控制阀连通，枪管端部装有枪嘴。优点：一是解决了背景技术存在的燃气与氧气间的无法均匀混合、无法整流所造成燃烧火焰温度不能恒定，所导致的玻璃微珠成形品质不能保证的缺陷；二是解决了玻璃微珠球化时所发生的并珠及球化物理性能不能保证的缺陷。
玻璃分段球化枪

[发明专利]微元件修复方法及显示面板-CN202111436734.0在审
发明人：李蒙蒙;王岩;盛翠翠;吴跃波;董小彪;葛泳 -专利权人：成都辰显光电有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种微元件修复方法和显示面板，微元件修复方法包括提供驱动基板，驱动基板包括器件区和检测区，器件区设置有多个微元件，检测区设置有多个缺陷微元件样本；利用相同的修复方法同时对器件区的缺陷微元件和检测区的缺陷微元件样本进行修复处理，对修复处理后的检测区进行检测，获取缺陷微元件样本的修复良率，将缺陷微元件样本的修复良率作为器件区缺陷微元件的修复良率。通过上述方式，本申请能够提高缺陷微元件的修复良率。
元件修复方法显示面板

[发明专利]基于深度残差网络的注塑件表面微缺陷自动快速检测方法-CN202110232284.7在审
发明人：孟雨涵;徐小青;王利群;陆宇峰;谭立 -专利权人：常州机电职业技术学院
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于深度残差网络的注塑件表面微缺陷自动快速检测方法。步骤如下：S1利用注塑成型仿真软件和注塑成型工业产品两种途径分别收集注塑件表面微缺陷和无缺陷仿真、真实图形；S2对注塑件表面微缺陷和无缺陷仿真、真实图形进行归一化、降噪和裁剪处理；S3构建注塑件表面微缺陷混合数据集；S4设计基于深度学习的深度残差网络注塑件微缺陷识别框架；S5训练基于深度学习的深度残差网络微缺陷识别框架；S6获取基于深度学习的深度残差网络微缺陷识别框架模型；S7检测出微缺陷类别。本发明只需要输入一幅注塑件表面微缺陷图形，可快速识别出微缺陷类别。本发明微缺陷识别速度快，检出率高，具有广泛的实用价值与应用前景。
基于深度网络注塑表面缺陷自动快速检测方法

[发明专利]晶圆微加工结构缺陷检测方法及其装置、设备、介质-CN202210945689.X在审
发明人：黄冰;杨延竹;于波;张华 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种晶圆微加工结构缺陷检测方法及其装置、设备、介质，所述晶圆微加工结构缺陷检测方法包括：获取初始图像，对初始图像进行分割，得到待检测微加工结构图像，当接收到缺陷检测指令时，对待检测微加工结构图像进行第一缺陷检测，得到第一检测结果，若第一检测结果为微加工结构无缺陷，则根据目标缺陷检测模型对待检测微加工结构图像进行第二缺陷检测，得到第二检测结果，若第二检测结果为微加工结构有缺陷，则获取微加工结构缺陷的第一得分值，根据第一得分值得到目标检测结果，能够自动进行微加工结构的缺陷检测，与人工检测方式相比，提高了检测效率和准确率。
晶圆微加工结构缺陷检测方法及其装置设备介质

[发明专利]一种可用于冲压件表面微缺陷成像的检测方法-CN202111005073.6在审
发明人：徐小青;黄文波;王霆;孟雨涵;薄康莹 -专利权人：常州工利精机科技有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可用于冲压件表面微缺陷成像的检测方法，它包括：步骤S1、收集若干张数的微缺陷冲压件广义相移双波长干涉图和对应的微缺陷冲压件各单波长干涉图；步骤S2、对收集到的微缺陷冲压件广义相移双波长干涉图和对应的微缺陷冲压件各单波长干涉图进行裁剪后，构建微缺陷冲压件干涉图数据集；步骤S3、设计基于深度学习的微缺陷冲压件双波长干涉图解耦卷积神经网络；步骤S4、利用所述微缺陷冲压件干涉图数据集。本发明提供一种可用于冲压件表面微缺陷成像的检测方法，使该方法能够从较少数量干涉图中快速提取双相位，实现冲压件表面微缺陷双相位高效成像。
一种用于冲压表面缺陷成像检测方法

[发明专利]基于波导机理的微浮筏流体减阻降噪蒙皮-CN201910788942.3有效
发明人：赵丹;赵政航;王飞皓;宋永健;陈璐;唐帅;张子凯;杨淞;薛进;刘少刚 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： B63G8/28 文献下载
摘要：本发明提供一种基于波导机理的微浮筏流体减阻降噪蒙皮，由微浮筏结构在蒙皮下周期排列构成。微浮筏结构由电磁线圈和弹性阻尼元件组成。电磁线圈由铁芯加工后缠绕漆包线构成。本发明采用微浮筏结构与磁流变弹性体相结合的方式，通过改变电磁线圈中电流的大小，调节作用于磁流变弹性体的磁场强度，进而控制磁流变弹性体的阻尼和刚度，使部分微浮筏结构的共振频率发生改变产生线缺陷，形成波导。声波或弹性波沿着缺陷定向传输，抑制表面噪声及激励的传播。同时表面采用柔性材料制造，可以推迟湍流边界层的转捩，实现蒙皮的减阻降噪。
基于波导机理微浮筏流体减阻降噪蒙皮

[发明专利]一种降低水产品中微囊藻毒素含量的复合菌剂及其使用方法-CN202011283822.7在审
发明人：周庆;张志勇;张迎颖;王岩;闻学政 -专利权人：江苏省农业科学院
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C12N1/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种降低水产品中微囊藻毒素含量的复合菌剂，包括缺陷短波单胞菌、施氏假单胞菌，所述复合菌剂是将缺陷短波单胞菌菌液与施氏假单胞菌菌液混合形成的混合菌液；所述缺陷短波单胞菌为缺陷短波单胞菌(Brevundimonas本发明显著提升鱼肠道内微囊藻毒素的降解能力，减少微囊藻毒素经由肠道吸收的量，减少鱼体中微囊藻毒素的累积量；促进水体中氨态氮、硝态氮的反硝化脱除以及小球藻等绿藻的生长，减少产毒蓝藻的生物量，形成养殖环境中微囊藻毒素控制的良性循环
一种降低水产品中微囊藻毒素含量复合及其使用方法

[发明专利]大口径曲面光学元件微缺陷修复用可微调显微检测装置-CN201510556941.8有效
发明人：陈明君;赵林杰;王海军;郑万国;廖威;袁晓东;廖然 -专利权人：哈尔滨工业大学;中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2015-09-02 - 公布日： 2017-11-17 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：大口径曲面光学元件微缺陷修复用可微调显微检测装置,涉及一种曲面微缺陷检测装置。解决了大口径光学元件表面微缺陷的快速识别的定位精确度差的问题。本发明的暗场检测单元对熔石英光学元件曲面上的所有缺陷进行全口径扫描，并对扫描的微缺陷图像进行处理，确定微缺陷点的尺寸以及在光学元件表面上的坐标位置；明场监测单元对暗场检测单元处理后的微缺陷点进行实时监测，以观察缺陷点的实际尺寸大小；光谱共焦测距单元通过测量该可微调显微监测装置与曲面光学元件表面之间的距离，对表面上任意一微缺陷点进行Z向的精确定位。本发明适用性于学元件微缺陷修复用使用。
口径曲面光学元件缺陷修复微调显微检测装置

[发明专利]手机镜头模组缺陷检测装置及检测方法-CN202111073598.3在审
发明人：殳治杰;姚碧锋 -专利权人：嘉兴景焱智能装备技术有限公司
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G01N21/958 文献下载
摘要：本发明涉及自动化检测技术领域，公开了一种手机镜头模组缺陷检测装置，包括吸嘴单元、光源装置和检测模组，所述光源装置对吸嘴单元发射光线，所述吸嘴单元被光线照射后会发光，并对吸嘴单元上吸附的手机镜头模组进行照射，所述检测模组对吸嘴单元上吸附的手机镜头模组进行缺陷检测。所述吸嘴单元包括吸嘴体和吸嘴体下方的吸嘴，所述吸嘴体为透明材质的锥形结构，所述吸嘴位于锥形结构底面的中央位置，所述锥形结构的侧面设计有多个呈一定角度的全反射微棱镜，所述全反射微棱镜呈阵列排布。所述锥形结构的底面设计有多个漫反射微透镜，所述漫反射微透镜呈阵列排布。本发明还公开了对应的检测方法。本发明对手机镜头模组一次成像即可检测多种缺陷项目，提高检测效率，节省检测时间。
手机镜头模组缺陷检测装置方法

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