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[发明专利]一种真空管路结构及半导体镀膜设备-CN202211433235.0在审
发明人：李钦波;孙鸿智;姜宏亮 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备加工技术领域，具体涉及一种真空管路结构及半导体镀膜设备。本发明提供的一种真空管路结构，包括第一管道、高真空隔离阀、分子泵、分支管道、粗抽管道和真空规；所述第一管道、所述高真空隔离阀、所述分子泵、所述分支管道和所述粗抽管道首尾依次相连；所述分支管道上安装有前级隔离阀；所述粗抽管路上安装有电磁阀和低真空隔离阀，所述低真空隔离阀安装于粗抽管路上靠近所述第一管道的一端，所述分支管道与所述粗抽管路的连接处位于所述电磁阀和所述低真空隔离阀之间。能够及时掌握高真空管路、反应腔、分支管道和粗抽管路的泄露情况，避免因发生泄漏而污染管路系统及腔体。
一种真空管路结构半导体镀膜设备

[发明专利]一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统-CN202010261706.9在审
发明人：王华兵;庆同;臧子哲;岳文诚 -专利权人：南京大学
申请日： 2020-04-04 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： F25B9/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统，包括上法兰、下法兰、窗框、SMA接口、引线接口、THz窗片、连接法兰和真空隔膜阀以及真空泵，通过THz窗片的设计，使得该真空系统可以照射THz波，所设计的真空系统，能够满足THz实验的需求，在将制冷机系统抽至低真空范围的同时，还能满足高温超导器件测试的需求，保证真空系统密闭性，使得系统达到要求真空度的时间变快，系统的热传导变小，保证低真空度的同时，减轻真空系统的重量
一种线性分置式斯特林制冷机真空系统

[发明专利]用于低真空和/或高真空的工具集成阀-CN201480023782.9在审
发明人：亚历山大·弗里斯 -专利权人： GEA食品策划德国股份有限公司
申请日： 2014-04-17 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： B65B25/06 文献下载
摘要：充填有待包装材料(16)；密封站(15)，其至少具有上部工具(12)和下部工具(11)，其将上部膜卷材(14)密封至包装凹陷部(6)，其中密封站(15)具有将下部工具(11)和/或上部工具(12)可逆地连接至低真空源和/或高真空源的至少一个阀。
用于真空工具集成

[发明专利]一种利用三氧化二铬生产低氮低镓高收率高纯金属铬的方法-CN202310849552.9在审
发明人：李杰;王亮;金绍祥;刘飞;刘亚凤;高鹏鹤;文明;赵秀媛;张丹 -专利权人：锦州钒业有限责任公司;中国中信集团有限公司
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C22B34/32 文献下载
摘要：一种利用三氧化二铬生产低氮低镓高收率高纯金属铬的方法，将三氧化二铬、铝粒、重铬酸钾混合均匀，分两批加入至真空冶炼设备的冶炼炉内；将第一批混合原料加入至所述冶炼炉内作为底料，加入引燃剂，将真空冶炼设备密闭，抽真空；启动点火器点燃引燃剂对冶炼炉内第一批混合原料进行点火，当第一批混合原料呈熔融状态时，第二批混合原料进行连续下料，直至全第二批部混合原料全部进入冶炼炉后，继续冶炼1min后，充保护气，开启真空泵抽真空，关闭真空泵，自然降温600℃以下；冷却仓内继续冷却至200℃以下，精整，得到低氮低镓高纯金属铬。优点是：成本低廉，工艺简单合理，通过一步法就可以获得低氮低镓高纯金属铬，且产品的收率高。
一种利用氧化生产低氮低镓高收率高纯金属方法

[发明专利]一种低品位锂源制备超薄金属锂带的方法及系统-CN201811229975.6有效
发明人：邹崴;聂阳;曹乃珍 -专利权人：天齐锂业（江苏）有限公司
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种低品位锂源制备超薄金属锂带的方法及系统。所述方法包括：在真空环境中蒸发除去低品位锂源中的低沸点杂质并获得液态金属锂的第一步骤；以及，采用真空蒸镀法将所获液态金属锂沉积于基材上而形成超薄金属锂带的第二步骤。所述系统包括：真空蒸镀设备，集气装置，相互配合的至少一放卷机构和至少一收卷机构，以及，至少一主辊；在所述系统工作时，所述放卷机构和收卷机构被置于第一真空室内，所述集气装置、主辊和低品位锂源被置于第二真空室内本发明采用低品位锂源作为蒸镀原料，将回收与真空蒸镀技术结合，一步法将低品位废旧锂中的金属锂提纯，并获得高纯、超薄、具有高附加值的金属锂带，有望应用于二次电池的负极材料中。
一种品位制备超薄金属方法系统

[发明专利]一种多功能真空校准装置-CN201510110003.5在审
发明人：欧雷;李泞;魏开利;孟萁;李翔;辛立正;张勇健;卫婧逸 -专利权人：成都飞机工业（集团）有限责任公司;成都国光电气股份有限公司
申请日： 2015-03-13 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明公开一种多功能真空校准装置，包括抽气机组、高真空单元、低真空单元、检漏单元，低真空单元通过阀门和管路与抽气机组连接，高真空单元通过阀门和管路与抽气机组连接，检漏单元通过阀门和管路与抽气机组连接。能开展真空计和漏孔的校准，以及气体成分分析和检漏工作。
一种多功能真空校准装置

[实用新型]真空固体渗锌电炉-CN94227777.5无效
发明人：杨福昌;陶锦伯;张金林 -专利权人：杨福昌;陶锦伯;张金林
申请日： 1994-03-01 - 公布日： 1995-01-11 - 主分类号： F27B5/05 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空固体渗锌电炉，炉胆装有封盖和真空口，并连接真空泵和加热控制箱，控制炉温，真空度好，渗锌温度低，渗层可任意控制。所渗锌的工件产品防腐性能优良，成本低，渗层表面色泽好，提高硬度，增加耐磨性。
真空固体电炉

[实用新型]应用于低真空磁浮系统的带有冷却及检漏功能的管道段-CN201921901249.4有效
发明人：张亚卓;江崇旭;那艳玲;胡叙洪;索晓明;张本利;刘越;胡琪 -专利权人：中国铁路设计集团有限公司
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： B61B13/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种应用于低真空磁浮系统的带有冷却及检漏功能的管道段，包括，铺设在磁浮系统中的真空管道，真空管道由多个真空管道段组成；真空管道为双层管道，包括真空管道内壁和真空管道外壁；真空管道内壁和真空管道外壁之间敷设有冷却管道和中间夹层；冷却管道的端头穿过真空管道外壁与外部冷却管路密封连接。另外，在每个管道段内外壁之间设压力探头，通过分析夹层内压力值，即可判断泄漏发生的管段，降低低真空磁浮轨道系统运营过程中检漏难度。该装置广泛应用于低真空磁浮轨道交通工程系统中，具有广阔应用及产业化前景。
应用于真空系统带有冷却检漏功能管道

[实用新型]低真空少无氧化加热炉-CN00241712.X无效
发明人：戈茂庆 -专利权人：佛山市扬戈热处理有限公司
申请日： 2000-06-28 - 公布日： 2001-05-02 - 主分类号： F27B5/05 文献下载
摘要：一种低真空少无氧化加热炉主要由热处理炉、水环型真空泵构成,在水环型真空泵与热处理炉间设有炉气冷却器。本实用新型与已有技术相比,具有热处理质量稳定、能耗低、无污染、工件加工成本低、炉体结构简单、紧凑、重量轻、升温快、隔热效果好的优点。
真空氧化加热炉

[发明专利]低操作功真空断路器-CN202011388648.2在审
发明人：闫飞越;何保营;刘宇;何大伟;范乃元;许家源;杨锐;郭良超;丛士博;雷琴 -专利权人：平高集团有限公司;国家电网有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： H01H33/666 文献下载
摘要：本发明涉及低操作功真空断路器。低操作功真空断路器，包括开关本体和操作机构；开关本体包括活塞和活塞缸体，活塞背向真空灭弧室的一侧设有低气压气室；活塞用于在主壳体与低气压气室之间的气压差作用下受到朝向低气压气室的作用力；传动机构设置在低气压气室内上述方案能够解决现有的真空断路器由于自闭力问题对操作机构的性能要求较高的问题。
操作真空断路器

[发明专利]一种低振动真空阀门-CN202210902756.X在审
发明人：于洲;郑文才;冉从军;魏琼林;赵红斌 -专利权人：成都中科唯实仪器有限责任公司
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： F16K51/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种低振动真空阀门，涉及真空阀门领域，解决了现有真空阀门开关阀振动噪音大的问题，包括设有旋转部的阀体，阀体内设有折弯限位板，折弯限位板两侧分别设有导轨，导轨上设有限位片，限位片与导轨形成限位槽基板通过轴承一、轴承三、轴承四在限位片、导轨、限位槽上进行限位滚动，因此基板能平稳运行，而且轴承一在限位片上滚动、折弯限位板对阀板支撑进行限制，可实现配合销在斜口槽内滑动，从而取代弹簧，实现阀门的静音低振开关
一种振动真空阀门

[发明专利]一种低真空钎焊炉-CN202310031979.8在审
发明人：张立超;汪鸿;姚梁 -专利权人：浙江银轮机械股份有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B23K3/04 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种低真空钎焊炉，涉及镍基钎料钎焊领域。该低真空钎焊炉包括外壳、加热炉体和分压管路，外壳设有抽气口，抽气口用于连通真空泵，加热炉体的内壁限定出加热室，加热炉体设置在外壳内，加热室和抽气口连通，分压管路的部分管体设置在加热室内，分压管路的部分管体用于向加热室内充注惰性气体，以降低加热室内的氧分压，由于分压管路的部分管体位于加热室内，且能够直接向加热室中充注惰性气体，以置换加热室中的其他气体，降低加热室中的氧分压，无需通过扩散泵保持加热室中的高真空状态的方式，降低氧分压，
一种真空钎焊

[发明专利]低真空蔬菜保鲜冷藏库-CN200910051770.8无效
发明人：唐安锋 -专利权人：上海瑞爱舰船设备有限公司
申请日： 2009-05-22 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： F25D13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种低真空蔬菜保鲜冷藏库，其包括库体、制冷机组、温度控制系统、真空压力及保护系统、复压开门系统、加湿系统、消毒杀菌系统、换气系统和PLC自动控制系统，温度控制系统来控制制冷机组的工作使保鲜冷藏库内达到所需要的环境，真空压力及保护系统为保鲜冷藏库内提供所需要的真空保鲜环境，利用复压开门系统进行卸压，库体、制冷机组、温度控制系统、真空压力及保护系统、复压开门系统、加湿系统、消毒杀菌系统和换气系统均与PLC自动控制系统连接
真空蔬菜保鲜冷藏库

[发明专利]低真空动平衡试验装置-CN201310629208.5无效
发明人：黄魏;莫慧一;张弛;董贤达 -专利权人：上海卫星装备研究所
申请日： 2013-11-29 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： G01M1/16 文献下载
摘要：本发明提供的低真空动平衡试验装置，包括：真空容器1、真空抽气系统2、试验平台3、设备控制系统4、动平衡机6；真空容器1与试验平台3相连接构成试验空间，动平衡机6设置在试验平台3上且位于真空容器1；真空抽气系统2连接真空容器1，设备控制系统4位于真空容器1并通过导线与动平衡机6相连接。
真空动平衡试验装置

[发明专利]低涡流真空容器及其制造方法-CN200710196074.7无效
发明人： X·黄;P·S·汤普逊 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2007-11-30 - 公布日： 2008-06-04 - 主分类号： G01R33/20 文献下载
摘要：本发明涉及低涡流真空容器及其制造方法。一种真空容器组件(70)包括由在内部基本不产生涡流的材料形成的内圆筒(74)和外圆筒(72)。
涡流真空容器及其制造方法