[发明专利]放电灯光源装置和方法无效
| 申请号： | 98813826.3 | 申请日： | 1998-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1134043C | 公开（公告）日： | 2004-01-07 |
| 发明（设计）人： | W·T·西尔弗瓦斯特;M·A·克洛森尔;G·M·希姆卡外格 | 申请（专利权）人： | 中佛罗里达大学 |
| 主分类号： | H01J35/20 | 分类号： | H01J35/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 李湘 |
| 地址： | 美国佛*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种用于超紫外线微型光刻的毛细管超紫外灯光源装置和方法。毛细管光源包括灯体(306)；具有电极(300)、绝缘体(302)和放电等离子体区域(304)的内孔。 | ||
| 搜索关键词： | 电灯 光源 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在11纳米-14纳米波长区域内操作毛细管放电光源的方法，其特征在于包括以下步骤：(a)在内孔尺寸为1毫米左右并且至少有一种辐射气体的毛细管光源内形成放电，放电电流为约2000-10000安培之间；以及(b)从放电光源辐射出在约11-14纳米之间选择的波长区域。
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