[发明专利]极性氧化镓异质结多沟道耿氏二极管及其制备方法在审
| 申请号： | 202310870904.9 | 申请日： | 2023-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN116940228A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 吴畅;王凯;周瑞 | 申请（专利权）人： | 湖北九峰山实验室 |
| 主分类号： | H10N80/10 | 分类号： | H10N80/10;H10N80/00 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明提供一种极性氧化镓异质结多沟道耿氏二极管及其制备方法，上述的极性氧化镓异质结多沟道耿氏二极管包括衬底、缓冲层、沟道、阳极及阴极；缓冲层设于衬底上，多个沟道依次叠加设于缓冲层背离衬底的一侧；沟道包括沟道层和势垒层，势垒层设于沟道层上，两者叠加布设；沟道层与势垒层的接触面通过自发极化和压电极化产生二维电子气(2DEG)；阳极和阴极分别设于二维电子气的两侧，且与二维电子气接触；其中，势垒层为非故意掺杂的ε‑(Al |
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| 搜索关键词： | 极性 氧化 镓异质结多 沟道 耿氏二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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