[发明专利]三角形端面的铌酸锂薄膜波导、制备方法及模斑变换器在审
| 申请号： | 202310845015.7 | 申请日： | 2023-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN116931168A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 杨作运;宝剑锋;邱晨 | 申请（专利权）人： | 苏州康冠光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/12;G02B6/136;G02B6/14 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 何磊 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种三角形端面的铌酸锂薄膜波导、制备方法及模斑变换器，包括衬底，设于所述衬底上的二氧化硅层，所述二氧化硅层上设有铌酸锂薄膜波导部，所述铌酸锂薄膜波导部端面为三角形。提出了多次刻蚀、控制刻蚀速率的方法来实现窄线宽模斑变换器的制备，刻蚀共包含三个过程，分别为LN脊刻蚀、Cr膜低深宽比刻蚀、LN三角形脊刻蚀。经实验验证，该方法能实现模斑变换器部位窄线宽三角形端面的薄膜铌酸锂波导制备；可以实现波导和光纤模斑的匹配，从而减小波导和光纤耦合的插入损耗，解决了铌酸锂薄膜光波导和光纤的模式适配问题；采用紫外光刻的工艺，使得效率更高且成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 三角形 端面 铌酸锂 薄膜 波导 制备 方法 变换器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州康冠光电科技有限公司，未经苏州康冠光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310845015.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于规则的构建知识图谱的方法及系统
- 下一篇：一种企业用电负荷监测方法和系统
