[发明专利]一种光斑分析系统在审
| 申请号： | 202310815095.1 | 申请日： | 2023-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN116839728A | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 董岱;杨军;张贤俊 | 申请（专利权）人： | 珠海东辉半导体装备有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/02;G01J1/04 |
| 代理公司： | 珠海得全知识产权代理事务所(普通合伙) 44947 | 代理人： | 李家平 |
| 地址： | 519000 广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及光斑分析系统，其包括壳体和分析组件，壳体设置有开口，设置于壳体内，用于光斑分析，分析组件包括准直透镜和用于将激光分解成反射光束和透射光束的楔形棱镜，以及用于测量反射光束的测量相机和用于吸收透射光束的尾光吸收器，准直透镜设置于开口处，楔形棱镜设置于准直透镜和测量相机之间，其中一个分析组件设置有聚焦透镜，聚焦透镜设置于楔形棱镜和测量相机之间。本发明可应用于不同波长的大功率激光测量分析，同时实现成本的降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光斑 分析 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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