[发明专利]高洁净分子泵的混合轴承轴系结构及分子泵在审

专利信息
申请号: 202310451573.5 申请日: 2023-04-24
公开(公告)号: CN116696836A 公开(公告)日: 2023-09-05
发明(设计)人: 黄涛;景加荣;宁远涛;董栋;裴莹莹 申请(专利权)人: 上海裕达实业有限公司
主分类号: F04D29/056 分类号: F04D29/056;F04D29/058;F04D29/66;F04D19/04
代理公司: 上海段和段律师事务所 31334 代理人: 李佳俊
地址: 200245 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供了一种高洁净分子泵的混合轴承轴系结构及分子泵,包括内磁环支座、外磁环、内磁环、主轴转子组件、安全轴承以及轴承座;内磁环套设在内磁环支座上,外磁环的内周壁抵接在内磁环的外周壁上,内磁环位于外磁环和内磁环支座之间;外磁环设置在主轴转子组件一端的内孔中;安全轴承设置在内磁环支座的内孔中,安全轴承位于主轴转子组件内;轴承座安装在主轴转子组件另一端。本发明通过永磁轴承和机械轴承组合成为混合轴承轴系结构,具有结构简单、紧凑,轴系旋转精度高,可靠性高、寿命长等多种优点。
搜索关键词: 洁净 分子 混合 轴承 结构
【主权项】:
暂无信息
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