[发明专利]钨钛合金靶坯的制备方法在审
申请号: | 202310242877.0 | 申请日: | 2023-03-14 |
公开(公告)号: | CN116422887A | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 马国成;欧海玲;徐铸;童培云 | 申请(专利权)人: | 先导薄膜材料有限公司 |
主分类号: | B22F5/00 | 分类号: | B22F5/00;B22F3/15;C22C27/04;C23C14/34 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 唐静 |
地址: | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种钨钛合金靶坯的制备方法,包括以下步骤:备粉;制模:使用金属钛焊接成型包套模具;装模:用陶瓷纤维纸将包套模具内部铺满,然后依次放入镍基高温合金支撑板、陶瓷纤维纸、钨钛合金粉末、陶瓷纤维纸、镍基高温合金支撑板,镍基高温合金支撑板、陶瓷纤维纸、钨钛合金粉末、陶瓷纤维纸、镍基高温合金支撑板作为一个整体模块;所述模块在模具内至少有1个;密封包套模具;将密封后的包套模具进行脱气处理;将脱气处理后的包套模具进行热等静压烧结,热压温度为1150~1300℃,压力为120~150Mpa;去包套,取出钨钛靶坯。本发明制备得到的钨钛靶坯致密度高、平整度高、纯度高,可生产大尺寸的钨钛靶坯。 | ||
搜索关键词: | 钛合金 制备 方法 | ||
【主权项】:
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