[实用新型]cvd金刚石制备反应腔冷却结构

摘要

本实用新型公开了一种cvd金刚石制备反应腔冷却结构，包括外层圆柱腔、内层反应腔、第一隔水板和第二隔水板，所述内层反应腔置于外层圆柱腔内，所述内层反应腔的外壁上呈环形阵列设置有纵向条状凹槽，所述外层圆柱腔上设置有第一进水口、第二进水口、第一回水口、第二回水口。本结构通过在内层反应腔的外表面设置纵向条状凹槽，能够使内层反应腔的外壁与冷却循环水的散热接触面积增加1.3‑1.5倍，通过隔水板将外层圆柱腔、内层反应腔之间的循环水流动区域进行等分，再增设一组进水口和回水口，降低单个进水口的注水压力，缓解了对内层反应腔的外壁纵向条状凹槽的冲刷力，延长了内层反应腔的使用寿命。