[实用新型]一种基板的检测装置有效
申请号: | 202222170198.0 | 申请日: | 2022-08-18 |
公开(公告)号: | CN218213263U | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 周轶靓;贺贤汉;王斌;季成龙;吴承侃 | 申请(专利权)人: | 江苏富乐华功率半导体研究院有限公司 |
主分类号: | G01R31/12 | 分类号: | G01R31/12;G01R1/04 |
代理公司: | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人: | 张强 |
地址: | 224200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种基板的检测装置,包括盒体,所述盒体上端为开口状,所述盒体内上部位置设有无色透明状的蓝宝石片,所述蓝宝石片下侧设有两个支撑条,所述支撑条与盒体固定连接,所述蓝宝石片上表面烧结有两个铜片,所述蓝宝石片和铜片形成的结构被封装在有机硅灌封胶层内,两个所述铜片上均焊接有高压接线柱,所述高压接线柱上端贯穿有机硅灌封胶层并延伸至有机硅灌封胶层上侧,所述盒体内底部中间位置设有用于记录放电的瞬变过程的扫描式高速摄像机,本实用新型具有如下的有益效果:通过将陶瓷更换为蓝宝石,由于蓝宝石在材料结构上与陶瓷接近,且蓝宝石无色透明,可以在基板封装完成后透过蓝宝石对基板内部放电情况进行检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 装置 | ||
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