[实用新型]一种加热装置有效
| 申请号： | 202221045616.7 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN217869188U | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 谢志文;张铭信;陈铭胜 | 申请（专利权）人： | 江西兆驰半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C23C16/46 |
| 代理公司： | 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 | 代理人： | 彭琰 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种加热装置，涉及MOCVD设备技术领域，包括石墨基座和加热组件，及自石墨基座的中心向石墨基座的边缘依次排列的若干放置槽组，放置槽组包括一个或多个放置槽，放置槽组的放置槽围绕石墨基座的中心设置，各放置槽组的放置槽的数量自石墨基座的中心向石墨基座的边缘递增，加热组件包括设于石墨基座边缘的若干加热丝，若干加热丝环绕于靠近石墨基座边缘的放置槽组，其中，加热丝上设有用于增加热辐射的倾斜部，倾斜部朝向石墨基座的中心，利用倾斜部的设置，以改善石墨基座外圈的放置槽最外沿区域温度低的情况，调整了该区域MO浓度分布，进而改善LED外延片内的发光主波长均匀性、电性良率均匀性、工作电压以及亮度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 装置 | ||
【主权项】：
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