[实用新型]绑头固晶装置及固晶机有效
申请号: | 202220441651.4 | 申请日: | 2022-03-01 |
公开(公告)号: | CN217158215U | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
发明(设计)人: | 张丰雷;李猛 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/48;H01L21/50 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 李艳丽 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请涉及半导体固晶技术领域,提供一种绑头固晶装置及固晶机,包括固定座、固晶绑头、固晶纵移模块、驱动固晶纵移模块相对于固定座沿第一方向移动的驱动机构及带动固晶绑头相对于固晶纵移模块沿第二方向升降的固晶升降模块,驱动机构包括驱动电机、与驱动电机的输出轴相连的偏心轮、与偏心轮连接且相对于固晶纵移模块沿第二方向升降的滑动模块及限制固晶纵移模块的移动在第一方向上的轨道模块。通过滑动模块和轨道模块将偏心轮的转动转化为滑动模块相对于固晶纵移模块沿第二方向的升降和固晶纵移模块在第一方向上的移动,大幅提高绑头运行速度,不存在丝杆磨损的问题。 | ||
搜索关键词: | 绑头固晶 装置 固晶机 | ||
【主权项】:
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