[发明专利]氧化铟钛钽铈粉末及其制备方法和改善氧化铟钛钽铈性能的方法在审
| 申请号： | 202211616110.1 | 申请日： | 2022-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN116082045A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 李开杰;邵学亮;王奇峰;谭洪蕾;罗斯诗 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/626 | 分类号： | C04B35/626;C04B35/01;C04B35/622;C01G15/00;C23C14/08 |
| 代理公司： | 清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人： | 龚元元 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体技术领域，公开了一种氧化铟钛钽铈粉末的制备方法，将含铟离子、钛离子、钽离子、铈离子的溶液和碱性沉淀剂反应，过滤得到沉淀，将沉淀经研磨、煅烧后制得氧化铟钛钽铈粉末；所述溶液中铟离子的浓度为0.4～1.5M；溶液和碱性沉淀剂反应的反应终点为溶液pH为中性。该方法制备出的氧化铟钛钽铈粉末中氧化钛、氧化钛、氧化铈和氧化铟的粒子分散均匀，用于靶材制作后氧化铈的分布均匀性极高，有效增加靶材的性能。同时，本发明还提供了该靶材的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 铟钛钽铈 粉末 及其 制备 方法 改善 性能 | ||
【主权项】：
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