[发明专利]一种高致密性的氧化铟铈靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202211615763.8 | 申请日： | 2022-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN116217208A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 李开杰;邵学亮;王奇峰;顾德胜;张兴宇 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C04B35/63;C04B35/645;C23C14/08 |
| 代理公司： | 清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人： | 龚元元 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于材料技术领域，公开了一种高致密性氧化铟铈靶材及其制备方法。所述制备方法为：将氧化铈粉末与第一分散剂和纯水进行预分散，经湿法研磨得到浆料一；向浆料一中加入氧化铟粉末和第二分散剂进行预分散，经湿法研磨得到浆料二；将浆料二进行喷雾造粒、混料和筛分，得到氧化铟铈前驱体；将氧化铟铈前驱体在600～800℃氧气氛围中常压烧结3～6h预处理，然后在真空环境下升温至烧结温度进行加压烧结，得到高致密性氧化铟铈靶材。本发明所得氧化铟铈靶材密度高、成分分布均匀性好，性能优异。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 致密 氧化 铟铈靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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