[发明专利]一种单晶成品硅棒自动检测系统在审
| 申请号： | 202211432879.8 | 申请日： | 2022-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN115638736A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 那贵勋;杨佳星 | 申请（专利权）人： | 大连耐视科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/00;G01B21/02;G01B21/22;G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 大连大工智讯专利代理事务所(特殊普通合伙) 21244 | 代理人： | 梁左秋 |
| 地址： | 116000 辽宁省大连市高新技*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅棒检测技术领域，提供一种单晶成品硅棒自动检测系统，包括：工控机、输送机构、四轴机械手、V形支撑台、滑动安装立架、传感器系统、第一视觉系统、第二视觉系统；滑动安装立架通过第一移动机构安装在V形支撑台上；滑动安装立架具有菱形通孔，菱形通孔的内角为90°；传感器系统和第一视觉系统安装在滑动安装立架上；第一视觉系统，包括：第一线阵相机和第二线阵相机；第一线阵相机和第二线阵相机分别对应布置在菱形通孔的上边上方；传感器系统安装在滑动安装立架上，传感器系统包括多个接触式传感器，且多个接触式传感器布置在菱形通孔的四周。本发明能够实现方形硅棒的外观图像和尺寸数据的自动采集检测，提高硅棒检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 成品 自动检测 系统 | ||
【主权项】：
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