[发明专利]一种传感器设计结构在审
| 申请号： | 202211331126.8 | 申请日： | 2022-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN115790557A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 王辉 | 申请（专利权）人： | 无锡莱斯能特科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01C19/5712 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 王雪 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种传感器设计结构，特别适用于三轴MEMS陀螺仪结构设计，属于MEMS传感器领域。该结构设计有旋转框架，用于运动传递；设计有X/Y轴检测共享质量块，结构方面节省了驱动结构的面积，有效缩小了芯片整体尺寸；锚定框架上的锚点依据芯片在晶圆不同位置上的不同应力表现，可进行相应调整，以抵消或部分抵消MEMS制造工艺或封装应力影响，提升芯片性能；由于使用了如前所述的整体结构布局，因此本发明中的三轴MEMS陀螺仪结构紧凑、整体面积小、生产成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 设计 结构 | ||
【主权项】：
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