[发明专利]一种带夹具的钛蚀刻双极板工件放置基板在审
申请号: | 202211187735.0 | 申请日: | 2022-09-27 |
公开(公告)号: | CN115558929A | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 谢金发 | 申请(专利权)人: | 深圳市金泉益科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 东莞卓诚专利代理事务所(普通合伙) 44754 | 代理人: | 李捷 |
地址: | 518100 广东省深圳市宝安区沙井*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种带夹具的钛蚀刻双极板工件放置基板,用于固定双极板工件,包括承托部和夹持部,所述夹持部共四组分别固定连接在承托部上端面四角;所述承托部包括底座,所述底座间隔设置有若干组气槽,所述底座一侧开设有进气槽,所述底座内部开设有分流道,所述分流道底部一侧开设有缓速流道,所述分流道内壁开设有与气槽数量相等的气流道,所述底座一侧开设有进气槽,本发明通过进气槽通过气管外接有气泵,气体会从若干组气槽喷出吹到四组夹持部固定的双极板工件下部,气体的冲击力可对工件自身的重力弯曲进行补偿,使双极板在蚀刻时保持水平;通过夹持部可使工件夹持稳固的同时与工件有着很小的接触面,有效降低工件接触面的蚀刻瑕疵。 | ||
搜索关键词: | 一种 夹具 蚀刻 极板 工件 放置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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