[发明专利]一种汞源炉及其补充汞液的方法有效
| 申请号： | 202211137323.6 | 申请日： | 2022-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN115386960B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 龚欣;陈峰武;魏唯;陈长平;肖慧;宁澍 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B29/48 | 分类号： | C30B29/48;C30B23/02 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种汞源炉，包括位于真空腔室外部的料罐、阀控组件、输送管道、以及位于真空腔室内部的喷射管，所述料罐、所述输送管道和所述喷射管依次连通，所述料罐上设有真空阀、注液阀和排液阀，所述阀控组件设于所述输送管道上，阀控组件包括并联的截止阀和计量阀，所述截止阀的流导大于所述计量阀的流导。本发明用较小流导的计量阀来控制汞流量，减小阀门开关对料罐内汞蒸气压力的影响，束流稳定性好，控制精度高，响应速度快；用较大流导的截止阀来快速抽真空，借助真空腔室的泵组来获得高真空状态，不需要配置额外的汞液补充装置，结构简单，有效，可以在不破坏生长腔室真空环境的情况下实现快速汞液补充。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 汞源炉 及其 补充 方法 | ||
【主权项】：
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