[发明专利]一种填孔整平剂及包含其酸性电镀铜浴在审
申请号: | 202211119134.6 | 申请日: | 2022-09-13 |
公开(公告)号: | CN115334778A | 公开(公告)日: | 2022-11-11 |
发明(设计)人: | 雷华山;段小龙 | 申请(专利权)人: | 广东利尔化学有限公司 |
主分类号: | H05K3/42 | 分类号: | H05K3/42;H05K1/11;H05K3/46;C25D3/38;C25D7/00 |
代理公司: | 广州博联知识产权代理有限公司 44663 | 代理人: | 王洪江 |
地址: | 510000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种填孔整平剂及包含其酸性电镀铜浴,整平剂为胺基缩水甘油基化合物、仲胺化合物和烷基化试剂反应而成;所述的酸性电镀铜浴包括上述填孔整平剂,五水硫酸铜,硫酸,氯离子,电镀加速剂、抑制剂,本发明的整平剂被用于填孔酸性电镀铜浴中,能够使用较小电流密度、较短填孔时间,将盲孔快速完美地被填平,能大幅度降低盲孔填平表面镀厚,填孔镀层品质可靠性高,线路蚀刻前板面面铜无需进一步减薄铜处理,可有效降低线路蚀刻难度及工艺生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 填孔整平剂 包含 酸性 镀铜 | ||
【主权项】:
暂无信息
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