[发明专利]空心盘在审
| 申请号： | 202211034663.6 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115404544A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 张宇;陈宏泰;房玉龙 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B29/40 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 刘少卿 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种空心盘，用于设置在MOCVD设备的反应室内，空心盘可拆卸式设置在反应室的石墨盘上，其中，空心盘为片状结构、中部设有一圆孔，圆孔的尺寸与待外延的衬底基片相匹配、用于容置衬底基片；空心盘的外缘与石墨盘的尺寸匹配，且当空心盘固定在石墨盘上时，圆孔的圆心与石墨盘的圆心重合；空心盘由耐高温、且导热系数低的材料制备而成。本发明提供的空心盘，可以用于温度敏感材料的外延生长，保证整个外延片的温度均匀性，从而使得外延片的波长均匀，提高外延片的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 空心 | ||
【主权项】：
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