[发明专利]一种含乙硼烷原料气中杂质的分析系统及方法在审
| 申请号： | 202210998740.3 | 申请日： | 2022-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN115166103A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 孙赟珑 | 申请（专利权）人： | 大连大特气体有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人： | 张沫 |
| 地址： | 116036 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及一种含乙硼烷原料气中杂质的分析系统及方法。系统包括检测器，用于检测待分析原料气中各杂质的含量，待分析原料气包括乙硼烷和杂质，杂质包括二氧化碳；第一通路，包括定量环、第一选择阀、第二选择阀、第三选择阀、第一色谱柱、第二色谱柱和第三色谱柱，定量环用于盛装固定体积的待分析原料气，第一选择阀、第二选择阀和第三选择阀分别具有可切换的第一状态和第二状态；第二通路，用于提供载气；通过切换第一选择阀、第二选择阀和第三选择阀的状态，利用第一色谱柱、第二色谱柱和第三色谱柱依次分离出二氧化碳、乙硼烷和其它杂质，并利用检测器检测出各气体的含量。该分析系统能够准确分析含有乙硼烷的原料气中各杂质的含量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含乙硼烷 原料 杂质 分析 系统 方法 | ||
【主权项】：
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