[发明专利]一种减薄液及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202210975704.5 | 申请日： | 2022-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN115261861B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 白晓鹏;李泰亨;申阳;王泽;陈红波 | 申请（专利权）人： | 易安爱富（武汉）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/28 | 分类号： | C23F1/28 |
| 代理公司： | 武汉红观专利代理事务所(普通合伙) 42247 | 代理人： | 赵志汝 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖开*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提出了一种减薄液及其制备方法和应用，所述减薄液包括三氯化铁、无机酸、有机酸、表面活性剂和去离子水，所述表面活性剂为十六烷基三甲基溴化铵、脂肪酸羟基乙烷磺酸盐、异构脂肪醇聚氧乙烯醚和七甲基三硅氧烷聚氧乙烯醚中的一种或多种组合。本发明减薄液中的三氯化铁可将因瓦合金的铁和镍氧化为离子态，有机酸和无机酸抑制三氯化铁水解，提高蚀刻速率；表面活性剂可以降低药液表面张力，提高药液对因瓦合金箔表面润湿性，使蚀刻减薄后的因瓦合金箔表面平坦，无内褶皱缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减薄液 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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