[发明专利]一种芯片测试装置、测试系统及测试方法有效
申请号: | 202210974524.5 | 申请日: | 2022-08-15 |
公开(公告)号: | CN115436778B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 刘明;胡忠强;关蒙萌;黄豪;潘伟 | 申请(专利权)人: | 珠海多创科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R33/02 |
代理公司: | 广东朗乾律师事务所 44291 | 代理人: | 杨焕军 |
地址: | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种芯片测试装置、测试系统及测试方法,芯片测试装置包括:电磁铁模组,包括多个倾斜磁极以及直接或间接绕设于所述倾斜磁极上的线圈,用于通过所述倾斜磁极对位于芯片测试位置的待测芯片施加磁场;磁探头,用于获取所述芯片测试位置的磁场信息;电探针,用于与所述待测芯片电连接,获取所述待测芯片的电性能反馈信息。本发明可以消除电磁铁磁滞的影响,克服因磁滞的存在导致计算难度大的问题,能够准确还原出芯片测试位置的磁场,从而可以准确地找出不合格产品,提高产品良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 测试 装置 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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