[发明专利]一种薄膜振动装置及其制备方法、应用其的清洗装置有效
| 申请号： | 202210896480.9 | 申请日： | 2022-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN115207205B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 陈云;李彪;宋奥柯;董善坤;赖声宝;侯茂祥;陈新 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H10N30/03 | 分类号： | H10N30/03;H10N30/072;H10N30/20;B06B1/06;B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 张晓婷;朱培祺 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜振动装置的制备方法，包括以下步骤：对硅晶片的表面进行光刻；刻蚀硅晶片上的铝层；对硅晶片进行刻蚀，得到多孔硅晶片；将PET薄片粘附在多孔硅晶片，以多孔硅晶片为掩膜板，击穿PET薄片，得到多孔PET薄膜；将PVDF薄膜粘附在多孔硅晶片的下方，并在多孔硅晶片上方抽真空，同时在多孔硅晶片的下方加热PVDF薄膜，得到具有圆顶微结构的PVDF薄膜；将两块多孔PET薄膜层压在具有圆顶微结构的PVDF薄膜的两侧，得到薄膜振动装置。所述清洗装置具有清洗速度快、清洗效果好、能够清洗各种复杂形状的精密零件表面、易于实现遥控和自动化、减少化学清洁试剂对环境污染以及没有噪声污染的特点，解决了现有超声清洗机功耗大、成本高和噪声大等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 振动 装置 及其 制备 方法 应用 清洗 | ||
【主权项】：
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