[发明专利]一种可在线计量的材料放气精确测试装置及其方法在审
| 申请号： | 202210700122.6 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN115165665A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 罗艳;吴晓斌;王魁波;谢婉露;李慧;沙鹏飞;韩晓泉;马赫;谭芳蕊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N7/14 | 分类号： | G01N7/14 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 冯委 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可在线计量的材料放气精确测试装置及其方法，属于测量技术领域，以解决放气测试过程中存在的气体成分敏感和测量仪器灵敏度变化的问题。本发明的一种可在线计量的材料放气精确测试装置包括稳压室，设有第一真空抽气组件；测试室，设有第二真空抽气组件，所述第二抽气组件具有第一抽气通道和第二抽气通道；第一管路，所述稳压室和所述测试室通过所述第一管路连通，所述第一管路上设有分子流传感元件和第一阀门；第一真空计，设置在所述稳压室上；第二真空计，设置在所述测试室上；质谱仪，设置在所述测试室上。本发明可实现有效抽速、真空计和质谱仪的在线校准，保证材料放气测试的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 计量 材料 放气 精确 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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