[发明专利]一种动态聚焦扫描振镜系统的优化方法及光路结构有效
| 申请号： | 202210384792.1 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN114609778B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 肖荣诗;苏坤;黄婷 | 申请（专利权）人： | 苏州菲镭泰克激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B26/10;G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京睿派知识产权代理有限公司 11597 | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 215634 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种动态聚焦扫描振镜系统的优化方法及光路结构。所述优化方法对动态聚焦扫描振镜系统进行了一体式考虑，模拟动态聚焦镜和两轴振镜的不同工作状态，评价在不同工作状态下系统聚焦光斑的质量，并从整体角度对系统进行优化。所述光路结构包含第一透镜、第二透镜、X轴振镜、Y轴振镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为双凹型负透镜，第二透镜为双凸型正透镜，X轴振镜和Y轴振镜为平面反射镜，第三透镜为双凹型负透镜，第四透镜为弯月型正透镜，第五透镜为弯月型正透镜，第六透镜为双凸型正透镜，本发明能够提升动态聚焦扫描振镜系统在工作区域内聚焦光斑的圆度，提升了聚焦光斑的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 聚焦 扫描 系统 优化 方法 结构 | ||
【主权项】：
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