[发明专利]一种间距可控的热电臂阵列的制备方法在审
申请号: | 202210358934.7 | 申请日: | 2022-04-07 |
公开(公告)号: | CN114759137A | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 邓元;冯雪;梁立兴;崔长伟 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学杭州创新研究院 |
主分类号: | H01L35/34 | 分类号: | H01L35/34;H01L35/32 |
代理公司: | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人: | 王睿 |
地址: | 310000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种间距可控的热电臂阵列的制备方法,其采用一体化制备策略,引入可重复使用的可拆卸‑脱模的模具以及绝缘层,通过调控绝缘层的厚度和放置数量,并借助施加外力进行辅助,对半导体/绝缘体复合热电薄片及热电臂阵列进行间距和对齐排列控制。所制备得到的半导体/绝缘体复合热电薄片及热电臂阵列间距可控,阵列排列规整,满足后续上/下电极制备需求,同时可提高制备效率和成品率,为器件的量产和产业化奠定了基础。 | ||
搜索关键词: | 一种 间距 可控 热电 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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