[发明专利]用于分析三维特征部的方法及系统在审
| 申请号： | 202210330501.0 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116930232A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 吴冰星;钟祯新;刘春晓 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01B15/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 黄涛;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 基于第一表面的第一样品图像和第二表面的第二样品图像来分析样品中的多个特征部。所述第一表面包括所述多个特征部的横截面，并且所述第二表面包括所述多个特征部在相对于所述第一表面的不同样品深度处的横截面。所述第二表面是通过铣削所述样品以去除所述第一表面的至少一部分而形成。通过将所述第二图像中多个特征部的所述横截面和所述第一图像中所述多个特征部的对应横截面进行比较来构建所述多个特征部的3D模型。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 分析 三维 特征 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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