[发明专利]热弹性阻尼最大的弹性微梁谐振器在审
| 申请号： | 202210294072.6 | 申请日： | 2022-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN114598295A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 李普;张宁;卢熹;孙蓓蓓;张建润 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/09 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 郝雅洁 |
| 地址： | 210000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种热弹性阻尼最大的弹性微梁谐振器，包括振子、驱动电极和基底，所述振子为弹性悬臂微梁或两端固支微梁，其特征在于，所述振子的横截面为矩形或圆形；振子的横截面为矩形时，横截面的厚度 |
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| 搜索关键词： | 弹性 阻尼 最大 谐振器 | ||
【主权项】：
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