[发明专利]抽气阀门、抽气阀门开闭方法及负压腔体组件在审
| 申请号： | 202210289042.6 | 申请日： | 2022-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN114607788A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 汤根;唐在峰;昂开渠 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F16K5/04 | 分类号： | F16K5/04;F16K5/08;F16K27/06 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 钟玉敏 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抽气阀门、抽气阀门开闭方法及负压腔体组件，所述抽气阀门包括基盘与阀片组；所述阀片组与所述基盘沿一轴线排布，所述阀片组包括两个以上的阀片，两个以上的所述阀片围绕所述轴线依次内外邻接排布；所述基盘沿所述轴线在第一位置和第二位置间可移动地设置，所述基盘位于第一位置时，与所述阀片组相抵靠，所述抽气阀门关闭；所述基盘在所述第一位置与所述第二位置间移动时，驱动至少一个所述阀片随所述基盘一同移动，以调节所述抽气阀门的开度。如此配置，利用基盘在轴向上的移动带动阀片组开合，进而通过改变阀片组径向面积的大小来控制气流有效通过面积，从而提高腔体内刻蚀片的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 阀门 开闭 方法 负压腔体 组件 | ||
【主权项】：
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