[发明专利]一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件有效
| 申请号： | 202210271334.7 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114457417B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 邹明蓓;朱佰喜;薛抗美;雷宏涛;董志江 | 申请（专利权）人： | 广州志橙半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C23C16/32;C23C16/458;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京中和立达知识产权代理有限公司 11756 | 代理人： | 张攀 |
| 地址： | 510700 广东省广州市黄埔区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件，包括承载盘和盖板，所述承载盘上设有第一定位结构，所述盖板底部设有第二定位结构，所述第一定位结构与第二定位结构相互配合。所述第一定位结构为第一凹槽或第一凸台，所述第二定位结构为第二凸台或第二凹槽，所述第一凹槽与第二凸台相互配合，所述第一凸台与第二凹槽相互配合。在承载盘与盖板间使用外圆裙边作中心的定位，使用凹凸槽作承载盘与盖板间的旋转角度方向的定位，代替现有的通过两盘间的重力和摩擦力来限位的方法,克服了在旋转时因惯性和气流导致承载盘和盖板间发生相对移位，使产品的生长条件发生改变的缺点，从而有效提高产品的生长质量和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 涂层 石墨 托盘 旋转 组件 | ||
【主权项】：
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