[发明专利]集成电解液pH值检测单元的硅电极及其制备方法在审
| 申请号： | 202210194790.6 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN114682864A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 李勇;祝玉兰;刘国栋;佟浩 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B23H3/06 | 分类号： | B23H3/06;B23H9/14;B23H11/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成电解液pH值检测单元的硅电极及其制备方法。所述硅电极包括重掺杂硅基体、隔离层、键合层、pH值检测单元和绝缘层。本发明通过在硅电极上设置pH值检测单元，使得该硅电极集电解加工、侧壁绝缘、pH值检测单元于一体，在电解加工的同时实时监测间隙内电解液的pH值，用于反映电解加工间隙内沉淀物含量，解决了微细电解加工状态无法监测的难题，可实现加工检测一体化。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 电解液 ph 检测 单元 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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