[发明专利]测试装置、测试方法和记录介质在审
| 申请号： | 202210134735.8 | 申请日： | 2022-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN114966353A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 坂口和宏 | 申请（专利权）人： | 瑞萨电子株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 黄倩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种测试装置、测试方法和记录介质。提供了一种能够提高半导体器件的测试效率的技术。一种测试装置，包括探针卡，该探针卡具有与形成在半导体晶片上的多个半导体器件接触的多个测量点；控制单元，被配置为生成地图信息、探针卡形成信息和接触位置信息，该地图信息包括半导体晶片上的半导体器件的位置信息和特定信息，该探针卡形成信息包括测量点的布置信息，该接触位置信息指示接触位置，该接触位置是基于限制与探针卡接触的约束条件信息而由探针卡一次测试的半导体器件的范围；以及位置控制单元，被配置为基于接触位置信息来控制探针卡与半导体晶片之间的相对位置。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 装置 方法 记录 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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