[发明专利]电子光学列和初级电子射束到样品上的引导方法在审
| 申请号： | 202180086813.5 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN116745880A | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | M·J·B·奥斯特伯格;金井建一 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 公开了用于将初级电子射束沿着初级射束路径引导到样品上的装置和方法。在一种布置中，射束分离器使从样品沿着初级射束路径发射的次级电子射束远离初级射束路径转向。色散设备位于射束分离器的射束上游。色散设备补偿由射束分离器在初级射束中引起的色散。一个或多个公共电源驱动射束分离器和色散设备两者。 | ||
| 搜索关键词： | 电子光学 初级 电子 射束到 样品 引导 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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