[发明专利]固态纳米孔形成在审

专利信息
申请号: 202180059600.3 申请日: 2021-07-21
公开(公告)号: CN116368095A 公开(公告)日: 2023-06-30
发明(设计)人: 谢平 申请(专利权)人: 牛津纳米孔科技公开有限公司
主分类号: B82Y15/00 分类号: B82Y15/00
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 严罗一;刘芳
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于产生包括开孔的衬底的方法,所述方法包括:提供衬底,所述衬底包括固态膜和在所述固态膜的第一表面上的化学表面改性;以及通过所述化学表面改性和所述固态膜形成开孔。本发明还涉及包括化学表面膜和开孔的衬底、包括此类衬底的传感器和包括此类衬底的设备。
搜索关键词: 固态 纳米 形成
【主权项】:
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