[发明专利]一种便携式量子真空测量装置在审
| 申请号： | 202111473375.6 | 申请日： | 2021-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN114323420A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 贾文杰;成永军;孙雯君;习振华;范栋;管保国;李刚;任正宜 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 | 代理人： | 饶小平 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： |
本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种便携式量子真空测量装置，包括测量探头、参考腔体、检测光路模块、参考光路模块以及拍频检测模块，其中：测量探头与检测光路模块连接；参考腔体与参考光路模块连接；检测光路模块和参考光路模块均与拍频检测模块连接。本申请基于激光干涉法的便携式量子真空计的压力测量范围为粗低真空(10Pa‑10 |
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| 搜索关键词： | 一种 便携式 量子 真空 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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