[发明专利]掩模检查装置及利用该掩模检查装置的掩模检查方法在审
申请号: | 202111098724.0 | 申请日: | 2021-09-18 |
公开(公告)号: | CN114397312A | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 宋一河;权美慧;禹志旼;黄相敦 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 姜长星;习瑞恒 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种掩模检查装置及利用该掩模检查装置的掩模检查方法。掩模检查方法包括如下步骤:拍摄定义有多个开口部的单位掩模而获取图像;将所述图像中的与所述单位掩模的边缘相邻的区域设定为检查区域;对布置于所述检查区域的开口部的灰度与基准灰度进行比较;以及根据所述比较结果来确认所述单位掩模的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 检查 装置 利用 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司,未经三星显示有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202111098724.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:自动驾驶系统及其生成详细地图的方法
- 下一篇:车辆显示系统及车辆显示方法