[发明专利]树脂密封装置及树脂密封方法在审
| 申请号： | 202110941997.0 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN114378999A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 安藤修治;柳泽诚;西泽哲也;铃木和広;涌井正明;伊藤幸雄 | 申请（专利权）人： | 山田尖端科技株式会社 |
| 主分类号： | B29C43/18 | 分类号： | B29C43/18;B29C43/32;B29C43/34;B29C43/52;H01L21/56 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 贺财俊;臧建明 |
| 地址： | 日本长野县千曲市大字上德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种树脂密封装置及树脂密封方法，提高由树脂供给部供给的液状树脂、颗粒树脂或粉末树脂的保形性，不用担心在搬送途中树脂粉粒飞舞，不会产生装置内的污染，可维持清洁度，还可简化装置结构。在分配单元(11C)包括载置工件(W)的树脂供给平台(5)以及将液状树脂、颗粒树脂或粉末树脂中的任一种树脂(R)供给至工件(W)上的树脂分配器(8)，在树脂供给平台(5)中内置有加热器(5a)，所述加热器(5a)将从树脂分配器(8)供给至工件(W)上的树脂(R)加热至比上模模腔可动的压缩成形用模具(2)的成形温度低的规定温度使其软化。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 密封 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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