[发明专利]一种用于人工光合作用的氮化物基器件及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110896321.4 申请日: 2021-08-05
公开(公告)号: CN113638003A 公开(公告)日: 2021-11-12
发明(设计)人: 陈贵锋;刘靳恬;张辉;解新建 申请(专利权)人: 河北工业大学
主分类号: C25B11/091 分类号: C25B11/091;C25B1/23;C25B1/55;C25B3/26;C25B11/052;C25B11/067
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 万尾甜;韩介梅
地址: 300401 天津*** 国省代码: 天津;12
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种用于人工光合作用的氮化物基器件及其制备方法。该器件自下而上为蓝宝石衬底,n+‑GaN层,AlGaN层,Cu基助催剂保护层。其制备过程如下:首先在蓝宝石衬底上生长n型GaN层,再在n型GaN层上利用分子束外延技术生长AlGaN层,再通过刻蚀方法刻蚀部分AlGaN层,在刻蚀掉的位置上通过蒸镀方法制备欧姆接触,利用掩模版将欧姆接触掩盖,通过旋涂法旋涂Cu基助催剂作为保护层,然后在真空管式炉中300℃下退火30min,自然冷却到室温后取出,获得具有保护层的氮化物器件。本发明的氮化物器件具有较高的吸收系数、良好的耐腐蚀性,可作为一种光阳极材料应于于人工光合作用中,对减少空气中二氧化碳浓度以及能源的开发具有重要意义。
搜索关键词: 一种 用于 人工 光合作用 氮化物 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北工业大学,未经河北工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110896321.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top