[发明专利]一种基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶发生装置及方法在审

专利信息
申请号: 202110796267.6 申请日: 2021-07-14
公开(公告)号: CN113634383A 公开(公告)日: 2021-11-12
发明(设计)人: 兰慧;朱珣;邓宏涛;陈子琪 申请(专利权)人: 江汉大学
主分类号: B05B5/00 分类号: B05B5/00;B05B5/03;B05B5/053
代理公司: 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 代理人: 张晓冬
地址: 430056 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶发生装置及方法,包括一带电容器,所述带电容器包括加热部和喷出部,喷出部底端设置有微孔喷嘴,且带电容器内盛有四氯化锡,在所述带电容器的外侧壁上电连接有正极。本发明具有的有益效果是:带电容器中的四氯化锡从微孔喷嘴中喷出形成射流,同时对带电容器的侧壁施加正电压,使射流表面带正电,同时对环形带电极板施加周期性幅值变化,形成变化的电场力使射流断裂为液滴,相比传统的利用超声振杆产生振源来使射流断裂,本发明所提出的周期性电场力拉伸射流断裂方法,直接避免了振动信号传递到微孔喷嘴处产生的横向漂移,具有相对较高的射流横向稳定性。
搜索关键词: 一种 基于 电场 诱导 紫外 光源 液滴靶 发生 装置 方法
【主权项】:
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  • 杨伟明 - 浙江普莱得电器股份有限公司
  • 2021-03-26 - 2022-04-01 - B05B5/00
  • 本实用新型提供了一种雾化器的静电发生装置。它解决了雾化器喷洒效果较差的问题。本实用新型使用时通过风扇对出水管进行吹气,出水管内的部分气流穿过加压管进入水箱内,水箱内的气压不断增加,较大的压强将水箱内的液体压入进水管内并沿着进水管进入导向管内,通过导向管向出水管远离风扇方向喷出,通过带电的金属阀芯使液体带电,带静电的液体经过出气口喷出,形成带静电的雾化颗粒,喷雾能够较为轻松的附着在被喷洒物体上,喷洒效率较高。
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