[发明专利]重掺砷硅单晶收尾方法及装置在审
| 申请号： | 202110794760.4 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113564691A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 闫龙;张兴茂;周文辉;李小红;伊冉;王忠保 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750000 宁夏回族自*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供一种重掺砷硅单晶收尾方法及装置，属于重掺杂硅单晶生产技术领域。方法根据等径结束后的埚跟比，首先计算理论拉速上调比例X，以该理论拉速上调比例调节进入收尾时的单晶拉速，进行收尾工序。收尾过程中，根据收尾长度，计算拉速上调比例X，逐级调大单晶拉速，直至收尾结束。实践表明，通过本发明提供的重掺砷硅单晶收尾方法能够有效替代人工主观调整，降低劳动强度，减缓重掺砷硅单晶收尾过程对技术人员的主观依赖。同时，采用本发明提供的重掺砷硅单晶收尾方法能够有效降低重掺砷硅单晶晶棒的尾部NG率，提高重掺砷硅单晶晶棒的良率，收尾NG率由传统技术人员进行调整的45%降低至15%，减少硅原料损失，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 重掺砷硅单晶 收尾 方法 装置 | ||
【主权项】：
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