[发明专利]一种智能电网用晶闸管的晶体圆片旋转腐蚀装置

摘要

本发明涉及一种智能电网领域，尤其涉及一种智能电网用晶闸管的晶体圆片旋转腐蚀装置。技术问题为：提供一种智能电网用晶闸管的晶体圆片旋转腐蚀装置。本发明的技术方案是：一种智能电网用晶闸管的晶体圆片旋转腐蚀装置，包括有预处理单元、去毛边单元和循环腐蚀单元；去毛边单元与循环腐蚀单元相连接。本发明通过对倒边之后的晶体圆片进行去毛边的操作，其中通过对圆片采用线动夹取的方式，祛除倒角后晶体圆片上残留的碎渣，其次，对圆片上的毛边进去旋转式祛除，可以使得后续对圆片的祛除氧化物的腐温和，同时可以减少腐蚀液的消耗，有效提高晶体圆片的加工效率。