[发明专利]麦克风及其制造方法有效
| 申请号： | 202110669390.1 | 申请日： | 2021-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN113259821B | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 徐希锐 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 田婷 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种麦克风及其制造方法，通过衬底正面上的凹槽的增设，能够相对增加用于制作背腔的膜层材料的厚度，给予背腔刻蚀更大的调试空间，有利于从调整工艺配方的方向增加刻蚀时间，进而改善或者消除背腔刻蚀后在衬底正面上形成的尖角，且当背腔刻蚀后在衬底正面上形成的尖角仍然无法通过工艺配方的调整来完全消除时，所述凹槽的增设能够增加衬底正面上的尖角到振膜的距离，使振膜在振动时不能触碰到尖角，提高器件可靠性和器件良率。此外，通过衬底正面上的凹槽的增设，在不牺牲器件性能的前提下，有利于降低凹槽外围的第一牺牲层的厚度，进而有利于麦克风向着更小尺寸发展。 | ||
| 搜索关键词： | 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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