[发明专利]用于异质结太阳能电池的镀膜方法以及镀膜设备

摘要

本发明提供用于制造异质结太阳能电池的镀膜方法以及镀膜设备。该方法先将承载有经制绒硅片的托盘传送至第一本征PECVD反应腔；然后对第一本征、N型、第二本征、P型PECVD反应腔、第一、第二PVD腔同时抽真空；接着在第一本征PECVD反应腔进行第一本征PECVD工艺，从而在硅片正面形成第一本征非晶硅；然后将托盘分别传送至N型、第二本征、P型PECVD反应腔中分别进行N型、第二本征、P型PECVD工艺，从而在第一本征非晶硅上形成N型非晶硅、在硅片背面上依次形成第二本征、P型非晶硅；接着将托盘传送至第一、第二PVD腔，从而在N型、P型非晶硅形成第一、第二透明导电膜；最后对全部成膜腔同时破真空。本发明能减少破空次数，简化设备，降低成本，提升电池效率及良率。