[发明专利]靶材用铝合金铸锭及其制备方法、铝合金靶材有效
| 申请号： | 202110635037.1 | 申请日： | 2021-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN113373350B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 大岩一彦;姚科科;广田二郎;林智行;山田浩 | 申请（专利权）人： | 浙江最成半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C22C21/02 | 分类号： | C22C21/02;B22D7/00;B22D1/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 成都维飞知识产权代理有限公司 51311 | 代理人： | 魏春蓉 |
| 地址： | 312035 浙江省绍兴市越城区皋埠*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及靶材制造技术领域，具体而言，涉及一种靶材用铝合金铸锭及其制备方法、铝合金靶材。该靶材用铝合金铸锭含有铝和一种添加元素。其中，铝合金铸锭中添加元素满足以下条件：添加元素在铝合金铸锭中的目标含量值为a wt％，在铝合金铸锭的横截面上多点取样检测多个样品中添加元素的含量得到多个添加元素含量值，多个添加元素含量值均在0.9a～1.1a wt％范围内。该靶材用铝合金铸锭的组织均匀，能够达到抑制溅射靶材在溅射工艺中异常放电的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材用 铝合金 铸锭 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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