[发明专利]靶材用铝合金铸锭及其制备方法、铝合金靶材

权利要求书

1.一种靶材用铝合金铸锭的制备方法，其特征在于，包括：在热顶铸造过程中，采用搅拌机构对导流槽中的熔融铝合金液进行搅拌，且不对热顶部中的熔融铝合金液进行搅拌，铸造得到铝合金铸锭；

所述铝合金铸锭含有铝和一种添加元素；

其中，所述铝合金铸锭中添加元素满足以下条件：

所述添加元素在所述铝合金铸锭中的目标含量值为a wt％，在所述铝合金铸锭的横截面上多点取样检测多个样品中所述添加元素的含量得到多个添加元素含量值，多个所述添加元素含量值均在0.9a～1.1a wt％范围内。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，多个所述添加元素含量值均在0.95a～1.05a wt％范围内。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述添加元素为Cu，Cu的目标含量值为0.5wt％，在铝铜合金铸锭的横截面上多点取样检测多个样品中Cu的含量得到多个Cu含量值，多个所述Cu含量值均在0.45～0.55wt％范围内。

4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述添加元素为Si，Si的目标含量值为1wt％，在铝硅合金铸锭的横截面上多点取样检测多个样品中Si的含量得到多个Si含量值，多个所述Si含量值均在0.9～1.1wt％范围内。

5.根据权利要求1～4任一项所述的靶材用铝合金铸锭的制备方法，其特征在于，还包括：

所述热顶铸造过程中，在所述热顶部添加加热机构，以控制所述热顶部的温度在所述熔融铝合金液温度的±3％以内。

6.根据权利要求1～4任一项所述的靶材用铝合金铸锭的制备方法，其特征在于，所述热顶铸造过程中，所述搅拌机构为旋转式搅拌机构；

所述旋转式搅拌机构的转速为30rpm以上。

7.根据权利要求1～4任一项所述的靶材用铝合金铸锭的制备方法，其特征在于，所述热顶铸造过程中，所述搅拌机构为振动式搅拌机构；

所述振动式搅拌机构的振动频率为50次/分钟以上。

8.根据权利要求1～4任一项所述的靶材用铝合金铸锭的制备方法，其特征在于，所述热顶铸造过程中，所述搅拌机构为超声波搅拌器；

所述超声波搅拌器的超声频率为100kHz以上。