[发明专利]一种无铅压电薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种无铅压电薄膜材料及其制备方法，无铅压电薄膜材料的化学通式为：(1‑x％)(Bi0.5Na0.5)TiO3‑x％BaZrO3；包括，将BNT‑xBZ前驱体溶液陈化，得到溶胶；将溶胶均匀旋涂在基片上，得到湿膜；对湿膜进行热解，烧结处理，得到中间薄膜；在中间薄膜上，重复旋涂溶胶，热解及烧结处理，得到预设厚度的薄膜；对预设厚度的薄膜进行退火热处理，得到所述的无铅压电薄膜材料；本发明通过在(Bi0.5Na0.5)TiO3基体中引入BaZrO3，构建了独特的准同型相界，即弛豫‑铁电相界；位于弛豫‑铁电相界的薄膜组分压电活性增强，在电场作用下产生可逆的场致相变效应，从而获得显著提高的应变性能，其应变及压电性能远超现有的铅基材料。