[发明专利]一种N型电池选择性发射极的制备方法

摘要

本发明公开了一种N型电池选择性发射极的制备方法，在链式设备中对硅片依次实施：沉积硼浆，以硼浆作为重掺区掺杂源；第一次高温推进，使重掺区掺杂源向硅片中扩散；沉积液态硼源，以液态硼源作为轻掺区掺杂源；第二次高温推进，使重掺区掺杂源和轻掺区掺杂源向硅片中扩散。本发明以硼浆作为重掺区掺杂源，以液态硼源作为轻掺区掺杂源，通过链式设备实现重轻掺区发射极的制备，外扩可控，不损伤绒面，步骤简单，节省时间，产量大，便于大批量生产。本发明采用全程链式方式，整个制备工艺在同一个链式设备中实施，硅片不需要在多个设备之间周转，对电池片洁净度有很大提升。本发明工艺窗口宽，结深差异化可控，无硼源外扩影响。